? (圖)我室微納加工平臺實驗室建成 - 硫系玻璃 | 寧波大學紅外材料及器件實驗室
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(圖)我室微納加工平臺實驗室建成
作者: irglass 時間: 2019-02-28 瀏覽:11,443 次

    近日,我室微納加工平臺實驗室正式建成。該實驗室建設設備經費來源于中央支持地方高校改革發展資金,在14個月時間里完成了從市場調研、價格談判、招標采購和安裝調試好德國Raith公司eLINE Plus型多功能電子束曝光機、英國Oxrod Instruments公司PlasmaPro100 CobraP180型等離子刻蝕機和美國Kurt J. Lesker公司PVD75型磁控濺射系統三臺進口微納加工設備,總價值1150萬人民幣。

    德國Raith公司eLINE Plus型多功能電子束曝光機具有分辨率高、參數靈活可調、曝光速度快等優點,獨有固定束移動工作臺模式,無寫場拼接誤差,最小束斑直徑≤1.6 nm,最小線寬≤ 8nm,拼接/套刻精度 ≤ 40 nm,適用于任意長路徑波導、波帶片、光子晶體等結構。

    英國Oxrod Instruments公司PlasmaPro100 CobraP180型等離子刻蝕機采用真空進樣室可進行快速的晶片更換,配置激光干涉或光發射譜檢測設備作為刻蝕終點檢測裝置,刻蝕速率快,穩定性高,均勻性<±5%,適用于硅基、金屬膜等材料的刻蝕。

    美國Kurt J. Lesker公司PVD75型磁控濺射系統具有薄膜與襯底結合緊密,成分均勻,能夠低溫制備以及可沉積薄膜種類多等優點,濺射室極限真空度可達6.7×10-5Pa,樣品臺最高轉速60 rpm,薄膜不均勻度<5%,可濺射制備高質量、納米級的硫系玻璃薄膜及金屬、氮化物、碳化物、半導體和多層膜等多種薄膜。

    微納加工平臺實驗室的建成,將大力推動我室硫系光子器件領域研發工作的開展。本實驗室設備對外開放,歡迎國內外科研機構前來進行相關合作研究。

聯系人 沈老師,Email:shenxiang@nbu.edu.cn

等離子刻蝕機

 

磁控濺射系統

 

多功能電子束光刻機

 

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