? 濕法刻蝕輔助飛秒激光直寫法制備硫系玻璃微透鏡陣列 - 硫系玻璃 | 寧波大學紅外材料及器件實驗室
研究進展
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濕法刻蝕輔助飛秒激光直寫法制備硫系玻璃微透鏡陣列
作者: irglass 時間: 2022-05-29 瀏覽:121 次

       近日,我室碩士研究生周偉杰(第一作者)和張培晴(通訊作者)研究員在期刊Ceramics International上發表題為Fabrication of Microlens Array on chalcogenide glass by wet etching-assisted femtosecond laser direct writing的論文。(https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.03.181

       光學器件的小型化集成化是現代光學系統發展的重要趨勢。在微光學器件中,陣列化的微透鏡器件廣泛應用于成像、計量、波束整形等領域。針對紅外波段的成像、計量測量、激光加工等領域的特殊應用需求,紅外波段工作的微透鏡及其陣列器件受到了廣泛的重視。本工作利用飛秒激光輔助化學腐蝕在硫系玻璃上制備了微透鏡及其陣列,探究了飛秒激光功率和腐蝕時間對微透鏡形成的影響。制備了兩種排列的微透鏡陣列,在1mm2面積內以100%的填充率制備了2300個微透鏡組成微透鏡陣列,獲得了良好的一致性。測試結果表明制備的微透鏡擁有良好的光學質量。

圖1. (a) 微透鏡直徑隨激光加工功率的變化曲線,(b) 不同激光功率加工的微透鏡刻蝕速率曲線,(c) 不同腐蝕時間形成的微透鏡輪廓曲線,(d)不同腐蝕時間下微透鏡焦距和深度


 圖2. (a)-(c) 微透鏡陣列的 SEM 圖像,( 插圖顯示中心凹微透鏡輪廓),(d) 微透鏡成像圖,(e) 單個微透鏡輪廓曲線擬合拋物線擬合。

 

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