? 湿法刻蚀辅助飞秒激光直写法制备硫系玻璃微透镜阵列 - 硫系玻璃 | 宁波大学红外材料及器件实验室
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湿法刻蚀辅助飞秒激光直写法制备硫系玻璃微透镜阵列
作者: irglass 时间: 2022-05-29 浏览:430 次

       近日,我室硕士研究生周伟杰(第一作者)和张培晴(通讯作者)研究员在期刊Ceramics International上发表题为Fabrication of Microlens Array on chalcogenide glass by wet etching-assisted femtosecond laser direct writing的论文。(https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.03.181

       光学器件的小型化集成化是现代光学系统发展的重要趋势。在微光学器件中,阵列化的微透镜器件广泛应用于成像、计量、波束整形等领域。针对红外波段的成像、计量测量、激光加工等领域的特殊应用需求,红外波段工作的微透镜及其阵列器件受到了广泛的重视。本工作利用飞秒激光辅助化学腐蚀在硫系玻璃上制备了微透镜及其阵列,探究了飞秒激光功率和腐蚀时间对微透镜形成的影响。制备了两种排列的微透镜阵列,在1mm2面积内以100%的填充率制备了2300个微透镜组成微透镜阵列,获得了良好的一致性。测试结果表明制备的微透镜拥有良好的光学质量。

图1. (a) 微透镜直径随激光加工功率的变化曲线,(b) 不同激光功率加工的微透镜刻蚀速率曲线,(c) 不同腐蚀时间形成的微透镜轮廓曲线,(d)不同腐蚀时间下微透镜焦距和深度


 图2. (a)-(c) 微透镜阵列的 SEM 图像,( 插图显示中心凹微透镜轮廓),(d) 微透镜成像图,(e) 单个微透镜轮廓曲线拟合抛物线拟合。

 

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